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項 目 合格品
氦氣純度，10-2 ≥99.999
氖含*，lO-6 ≤4
氫含量，10-6 ≤1
氧(氬)含量，10-6 ≤1
氮含量，10-6 ≤2
一氧化碳含量，1O-6 ≤0.5
二氧化碳含量，10-6 ≤0.5
甲烷含量，10-6 ≤O.5
水分含量，10-6 ≤3
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